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中新網(wǎng)廣東新聞6月21日電 (李映民 李獲)位于廣東東莞松山湖高新區(qū)的松山湖材料實驗室精密儀器研發(fā)團隊近日成功自研臺階儀，實現(xiàn)了國產(chǎn)化臺階儀零的突破，加速國產(chǎn)替代。

臺階儀，又名探針式表面輪廓儀，用于樣品表面從微米到納米尺度的輪廓測量，是微電子、半導體、醫(yī)療、科學研究和材料科學等領(lǐng)域不可缺少的關(guān)鍵測量設備。長期以來，此類儀器被美國和日本廠商壟斷，國內(nèi)尚無廠商可提供同類產(chǎn)品。

2020年，松山湖材料實驗室精密儀器研發(fā)團隊對臺階儀研發(fā)項目發(fā)起挑戰(zhàn)，2022年6月，正式機臺投入使用。

“臺階儀研發(fā)擁有‘四個超’——超精細的運動控制，超精密位移傳感，超低噪聲信號采集以及超高平整度零部件。這四個關(guān)鍵技術(shù)，實現(xiàn)了臺階儀的整機開發(fā)?！彼缮胶牧蠈嶒炇揖軆x器研發(fā)團隊負責人許智表示，該儀器從應用場景層面看，可以替代進口。

松山湖材料實驗室精密儀器研發(fā)團隊負責人許智表示，國產(chǎn)化臺階儀平均售價是進口產(chǎn)品的大概六到七成，可以降低用戶的采購成本。未來，團隊還將推出更經(jīng)濟的型號，預計售價為進口產(chǎn)品的一半左右。

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