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中新網(wǎng)廣東新聞6月21日電 (李映民 李獲)位于廣東東莞松山湖高新區(qū)的松山湖材料實(shí)驗(yàn)室精密儀器研發(fā)團(tuán)隊(duì)近日成功自研臺(tái)階儀，實(shí)現(xiàn)了國產(chǎn)化臺(tái)階儀零的突破，加速國產(chǎn)替代。

臺(tái)階儀，又名探針式表面輪廓儀，用于樣品表面從微米到納米尺度的輪廓測(cè)量，是微電子、半導(dǎo)體、醫(yī)療、科學(xué)研究和材料科學(xué)等領(lǐng)域不可缺少的關(guān)鍵測(cè)量設(shè)備。長期以來，此類儀器被美國和日本廠商壟斷，國內(nèi)尚無廠商可提供同類產(chǎn)品。

2020年，松山湖材料實(shí)驗(yàn)室精密儀器研發(fā)團(tuán)隊(duì)對(duì)臺(tái)階儀研發(fā)項(xiàng)目發(fā)起挑戰(zhàn)，2022年6月，正式機(jī)臺(tái)投入使用。

“臺(tái)階儀研發(fā)擁有‘四個(gè)超’——超精細(xì)的運(yùn)動(dòng)控制，超精密位移傳感，超低噪聲信號(hào)采集以及超高平整度零部件。這四個(gè)關(guān)鍵技術(shù)，實(shí)現(xiàn)了臺(tái)階儀的整機(jī)開發(fā)。”松山湖材料實(shí)驗(yàn)室精密儀器研發(fā)團(tuán)隊(duì)負(fù)責(zé)人許智表示，該儀器從應(yīng)用場(chǎng)景層面看，可以替代進(jìn)口。

松山湖材料實(shí)驗(yàn)室精密儀器研發(fā)團(tuán)隊(duì)負(fù)責(zé)人許智表示，國產(chǎn)化臺(tái)階儀平均售價(jià)是進(jìn)口產(chǎn)品的大概六到七成，可以降低用戶的采購成本。未來，團(tuán)隊(duì)還將推出更經(jīng)濟(jì)的型號(hào)，預(yù)計(jì)售價(jià)為進(jìn)口產(chǎn)品的一半左右。

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