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國家集成電路產(chǎn)業(yè)投資基金二期已經(jīng)到位 光刻膠有望用于14/7nm工藝

  • 快科技
  • 2021-08-09 08:17:21

被稱為大基金的國家集成電路產(chǎn)業(yè)投資基金二期已經(jīng)到位,總規(guī)模超過2000億元,這一輪投資重點(diǎn)是半導(dǎo)體設(shè)備及材料,國產(chǎn)光刻膠公司南大光電日前獲得1.83億投資,該公司研發(fā)的新一代ArF光刻膠有望用于14/7nm工藝。

南大光電公告稱,為加快光刻膠事業(yè)發(fā)展,公司控股子公司寧波南大光電擬通過增資擴(kuò)股方式引入戰(zhàn)略投資者國家集成電路產(chǎn)業(yè)投資基金二期股份有限公司(“大基金二期”)。

大基金二期擬以合計(jì)1.833億元的價(jià)格認(rèn)購公司控股子公司寧波南大光電的新增注冊(cè)資本6733.19萬元,認(rèn)繳出資比例18.33%。此次增資完成后,公司在寧波南大光電持股比例由71.67%降至58.53%。

國家集成電路產(chǎn)業(yè)投資基金二期股份有限公司于2019年10月22日注冊(cè)成立,注冊(cè)資本為2041.5億元,略超此前市場(chǎng)預(yù)期的2000億元。與大基金一期主要投向半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)中游,包括制造、設(shè)計(jì)、封測(cè)的行業(yè)龍頭企業(yè)不同的是,大基金二期將更多投向上游和下游,瞄準(zhǔn)設(shè)備、材料等薄弱環(huán)節(jié)的細(xì)分龍頭企業(yè)。

本月初,南大光電在互動(dòng)平臺(tái)上表示,公司旗下的ArF光刻膠產(chǎn)品拿到小批量訂單,不過他們沒有透露具體的客戶名單。

今年5月份,南大光電發(fā)表公告,控股子公司寧波南大光電自主研發(fā)的ArF光刻膠繼2020年12月在一家存儲(chǔ)芯片制造企業(yè)的50nm閃存平臺(tái)上通過認(rèn)證后,近日又在邏輯芯片制造企業(yè)55nm技術(shù)節(jié)點(diǎn)的產(chǎn)品上取得了認(rèn)證突破,表明公司光刻膠產(chǎn)品已具備55nm平臺(tái)后段金屬布線層的工藝要求。

此前南大光電曾在公告中表示,ArF光刻膠涵蓋的工藝技術(shù)很廣,可用于90nm-14nm甚至7nm技術(shù)節(jié)點(diǎn)制造工藝,廣泛應(yīng)用于高端芯片制造(如邏輯芯片、 存儲(chǔ)芯片、AI芯片、5G芯片和云計(jì)算芯片等)。

關(guān)鍵詞: 光刻膠 集成電路 投資基金 注冊(cè)資本

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